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            联系人: 陈光珠
            电  话: 021-69918486,69918652
            手  机: 13788950882
            传  真: 021-69918550
            邮  箱: gzhchen@siom.ac.cn;
            sales@sgcrystal.com
             
            外延薄膜 >> Pt/Ti/SiO2/Si ,Au/Cr/Si >> Pt/Ti/SiO2/Si Au/Cr/Si
            Pt/Ti/SiO2/Si Au/Cr/Si
             

            01
             
            简要介绍
            通过磁控溅射方法在硅片镀膜,制备Pt/Ti/SiO2/Si  Au/Cr/Si基片,
            详细参数

             

            主要性能参数

            Pt/Ti/SiO2/Si

            Au/Cr/Si

            制备方法:

            磁控溅射

            磁控溅射

            导电类型

            P型 掺B,N型掺P

            P型掺B, N型掺P

            膜厚 :

            Pt:150nm;过渡层Ti:20nm ; SiO2 500nm

            Au,40~100nm,过渡层Cr,20nm

            硅片晶向

            <100>或者<111>

            <100>或者<111>

            常规尺寸:

            Dia4";Dia2";10mm*10mm ;10mm*5mm

            Dia2";10mm*10mm ;10mm*5mm

             

             

             

             

             

             

                                                        

             
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