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            联系人: 陈光珠
            电  话: 021-69918486,69918652
            手  机: 13788950882
            传  真: 021-69918550
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            薄膜衬底 >> GaN 薄膜基片 >> 蓝宝石(Al2O3)
            蓝宝石(Al2O3)
             

            05
             
            简要介绍
                  蓝宝石(Sapphire,又称白宝石,分子式为Al2O3)单晶是一种优秀的多功能材料。它耐高温,导热好,硬度高,透红外,化学稳定性好。广泛用于工业、国防和科研的多个领域(如耐高温红外窗口等)。同时它也是一种用途广泛的单晶基片材料,是当前蓝、紫、白光发光二极管(LED)和蓝光激光器(LD)工业的首选基片(需首先在蓝宝石基片上外延氮化镓薄膜),也是重要的超导薄膜基片。除了可制作Y-系,La-系等高温超导薄膜外,还可用于生长新型实用MgB2(二硼化镁)超导薄膜(通常单晶基片在MgB2 薄膜的制作过程中会受到化学腐蚀)。
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            详细参数

            主要性能参数
            晶系
            六方晶系
            晶胞常数
            a=4.748Å  c=12.97Å
            密度
            3.98(g/cm3)
            熔点
            2040℃
            莫氏硬度
            9
            热膨胀系数
            7.5  (x10-6/ oC)
            热导率(卡/度 厘米 秒)
             
            ⊥c
            //c
            23℃
            0.055
            26℃ 0.060
            77℃
            0.040
            70℃ 0.041
            介电常数
            ~ 9.4 @300K  at A axis ~ 11.58@ 300K at C axis
            晶向
            A-plane
            <11-20>
            2.379A
            R-plane
            <1-102>
            1.740A
            M-plane
            <10-10>
            1.375A
            C-plane
            <0001>
            2.165A
            晶向公差
            ±0.5°
            常规尺寸及公差
            10×3,10×5,10×10,15×15,20×15,20×20,
            常规厚度及公差
            0.5mm,1.0mm
            抛光
            单面或双面
            表面粗糙度
            Ra<5Å(5×5μm)
            包装
            100级洁净袋,1000级超净室

             
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